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薄膜制備小型磁控濺射儀是一種用于物理學領域的物理性能測試儀器,用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。薄膜制備小型磁控濺射儀設備由磁控濺射...
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